喜讯龙钜公司顺利通过无尘室ISOC

龙钜超洁净科技（苏州）有限公司

顺利通过

Class1级认证

ISO洁净室国际标准

/04/12

LONG

JUTEC.

前言

年3月21日，龙钜超洁净科技公司顺利取得ISOClass1级无尘室证书。Class1级无尘室按照美国国家环境平衡局（NEBB）程序规范建立，符合ISO的Class1洁净室对颗粒度、HEPA泄露等各项要求，是目前ISO中等级最高的洁净车间。

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什么是无尘室？

·QA

在半导体制程中，微粒子机械性干扰在微影、薄膜沉淀披覆及其他制程中会导致产品缺陷，制程中，可移动离子（GroupIA）干扰闸极氧化（gateoxide），提高导电度，导致电场穿击（Fieldbreakdown）。GroupIIIB与GroupVB干扰电阻率。某些元素-铁、镍、铜、锌等会导致晶体在成长期间的氧化引致叠差（oxidationinducedstackingfaults）。使主元素（Donorelemets）如磷、砷及受体（Acceptors）像硼、铝及镓会干扰电阻率（不想要的杂质）。所以环境中的颗粒尘埃，势必是决定制程技术的主要原因之一，因此，对于环境中或附着在表面污染的尘埃或污染颗粒必须用可行的方法移去，所以才会有无尘室的诞生。无尘室的等级按照ISO《洁净室及相关控制环境国际标准》进行等级划分。（见附表）

洁

净

度

等

级

02

我们的生产环境如何？

·QA

龙钜超洁净科技（苏州）有限公司拥有超过m2并配备1.8米高架地板的ISOClass1级与级无尘室是专为无尘洁净服务而设计的无尘环境，还配备有无尘布专设的洁净设备。目前龙钜所拥有的一级无尘室，是目前国内最高等级ISOClass1，通过了具有NEBB（美国国家环境平衡局）资质的第三方机构认可。无尘室内采用了ULPA过滤器（全称为超高效空气过滤器），0.1um微尘粒的过滤效率能达99.%DOP以上，即穿透率小于十万分之一，主要用来滤除粒径0.1um以上之微尘粒，为洁净室过滤系统的最终过滤元件。除了过滤器以外无尘室内还具有独特的架构与气流型式对空气进行过滤，无尘室的地面采用1.8米深下挖区的挑空设计，当过滤后的空气通过高架导电地板的孔洞，进入到地板下，就会通过回流装置从回风区的单向阀门处进入到无尘室上方的空间，然后再经过ULPA滤网进行反复过滤流通。

当然，如果想生产出优质的无尘布以外还需要纯水洁净才行。龙钜的洁净用水就是由专门的超纯水制成系统进行处理，这种水除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、悬浮物、有机物等，可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用去离子化、反渗透技术或其他适当的超临界精细技术再进行制水。要制作出这样的高标准的超纯水，首先要拥有很高的工艺流程然后配搭硬体设备，而我们龙钜就能将这二者完美融合成超纯水制成系统，它每小时的生产量可达到惊人的13.6吨。经过我们超纯水系统出来的水：

水阻值在18兆欧.CM以上

0.1um的粒子控制在10个/cc以下

总有机碳（TOC）≤5ppb

TotalSilica(sio2)≤10ppb

我们的纯水系统能够稳定生产18MΩ等级的纯水，并符合高科技产业客户所

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